Анизатропные покрытия

Анизатропные покрытия

Описание

Анизотропные покрытия на основе нано/микро столбиков

В процессе электронно-лучевого напыления мишень облучается электронным пучком с высокой энергией b образуется атомная газовая фаза. Затем эти атомы осаждаются на желаемые подложки. Коллоидные монослои могут быть использованы в качестве подложки. В случае таких подложек осаждаемые атомы остаются на коллоидных микро/нано сферах, формируя столбчатые структуры, рис. 1. Различные соединения могут давать столбчатые структуры, включая полупроводниковые и диэллектрические материалы.

Рис. 1.  Наноколонны, сформированные вакуумным напылением диоксида кремния (слева) и ИТО (справа) на подложку, состоящую из монослоя 200 нм  коллоида.

Атомы, попадая на сферическую частицу, вынуждены осаждаться в направлении потока вещества. При нормальном (перпендикулярном поверхности подложке) потоке вещества столбчатые структуры перпендикулярны подложке. При заклоненных отнсительно подложке пучках, угол наклона таких структур изменяется  (рис. 2, слева). Метод известен и называется Glancing Angle Deposition (GLAD).

Рис. 2: Напыление слоя SiO2 под углом 45 градусов относительно подложки (слева) и напыление многослойной просветляющей структуры SiO2/Nb2O5 (справа)

Так называемый GLAD - это процесс осаждения материала, при котором существует большой угол падения  между потоком осаждения и нормалью к поверхности. GLAD может образовывать заклоненные столбчатые структурированные массивы, при этом форма столбцов контролируется вращением подложки.

Возможно также выращивать столбчатые структуры  из чередующихся материалов, например, формировать просветление (рис. 2б справа). Два материала с различным показателем преломления хорошо различимы.  На изображении видны также места стабилизации столбчатых структур, что достаточно важно для правтических применений. Применяться такие структуры могуд в качестве супергидрофильных поверхностей, катализаторов, оптических элементов, таких, например, как волноводы и т.д. ГК Изовак может предложить как оборудование для нанесения темплата на подложки значительныз размеров, так и установки для последующего напыления.